Blanket
Blanke _ PR (Photo Resist)
300mm 실리콘 웨이퍼 위에 감광막(PR)을 코팅하는 Blanket Wafer 제작 서비스입니다.제작 사양
- 웨이퍼 규격
- 300mm
- 기판
- Sub_Si
- 상부막
- ArF PR 750Å~3700Å
공정 및 장비
| 단계 | 공정 | 진행 장비 |
|---|---|---|
| 01 | FN Cleaning | NSM312 |
| 02 | PR Coating | LITHIUS PRO Z Imm |
| 03 | Thickness Measurement | ATLAS_XP_PLUS |
| 04 | Particle Measurement | SP7XP |