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C/R 임대 서비스

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클린룸 시설 소개

  • 청정도 CLASS 100 이하 클린룸
  • 반도체 전 공정 설비 일체 구축
  • 12인지(300mm) 웨이퍼 기반 공정
  • 총 37대의 최첨단 생산용 장비 가동
  • 소부장 기업 R&D 클린룸 임대 공간 제공
공정별 구역
소부장 기업 R&D 임대공간
포토, 식각, 박막, CMP, 확산, 세정, 계측 검사 공정과 소부장 기업 임대공간으로 구성된 클린룸 배치도