Blanket
Blanke _ ACL(Carbon)
300mm 실리콘 웨이퍼 위에 비정질 탄소막(ACL)을 증착하는 Blanket Wafer 제작 서비스입니다.제작 사양
- 웨이퍼 규격
- 300mm
- 기판
- Sub_Si
- 하부막
- PETEOS <5000Å
- 상부막
- ACL <5000Å
- 증착 온도
- Low Temp. or High Temp.
공정 및 장비
| 단계 | 공정 | 진행 장비 |
|---|---|---|
| 01 | FN Cleaning | NSM312 |
| 02 | PE-TEOS | GEMINI HQ |
| 03 | TEOS Dep. SCR | NSM312 |
| 04 | Carbon Dep. | Challenge |
| 05 | Carbon Dep. SCR | NSM312 |
| 06 | Thickness Measurement | ATLAS_XP_PLUS |
| 07 | Particle Measurement | SP7XP |
유의사항
- TEOS Dep. SCR은 NANO Scan 방식으로 진행됩니다.